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应变原位测量仪
所属栏目：光学检测
发布时间：2023-10-05
关注度：135次
简单介绍：作为一种无透镜成像技术，直接从衍射强度数据重构物体的振幅和相位图像信息，利用相关算法获得样品的三维形貌信息。能应用于光学元件面形在位检测、生物样品三维形貌重构、微纳芯片内部结构形貌测试等
检测口径: | 150mm (口经可根据需求研制)； |
测量效率： | 约5mmin(设备固化后可进一步提升) |
精度： | 光学元件面形检测精度~/8 (= 632.8nm); |
生物样品形貌检测分辨率： | 根据需求配置不同物镜倍率，同倍率条件下分辨率优于商用显微镜。 |
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